• À propos de WordPress
    • Site de WordPress-FR
    • Documentation
    • Forums de support
    • Vos retours
  • Connexion
Skip to content
  • LE LABO
    • Historique du LTM
    • Les équipes
      • Equipe Lithographie
      • Equipe Bio-santé
      • Equipe Matériaux
      • Equipe Gravure
    • Le LTM en chiffres
    • Informations Fournisseurs
    • Infos pratiques
    • Contact
    • Membres du LTM
  • DOMAINES D'APPLICATION
    • Composants pour l'IOT / STIC
      • Optiques
        • µLeds GaN sur piliers Si
        • Dispositif opto-électronique
        • Guide d’ondes silicium
      • Nanoélectroniques
        • Modélisation Nano-électronique
        • Transistors 3D
        • Mémoires OxRAM, ReRAM, FeRAM et PCRAM
    • Composants pour l'Energie
      • Composants de puissance
        • GaN
      • Automotive (transport)
        • Superhydrophobie antigivre
        • Capteur à film mince
        • Nanocomposites pour condensateurs de puissance
      • Photovoltaique
        • Cellules solaires rectenna
    • Composants Bio-Santé-Env
      • Optiques
        • Spectroimageurs Si compact
        • Photodétecteurs Membrane Sc
      • Nanoélectroniques
        • Capteur à nanofils de Si
    • Dispositif piézoélectriques
      • Capteur et nanogenerateur
  • COMPÉTENCES
    • Epitaxie et croissance
      • III-V / Si (sélective sur SiO2)
      • 2D (GaSe-InSe /Si et SiO2)
      • VLS NWs SiGe- GeSn
      • PE-ALD (croissance sélective)
      • PVD (HfZrO2, …)
      • Piezo et ferroélectriques
    • Gravure plasma
      • Nouvelles technologies plasma
      • Simulation plasma-surface
      • Diagnostics des plasmas
      • Procédés plasma CMOS avancés
      • Procédés plasma III-V
      • Patterning ultime
      • Métrologie de rugosité de motifs
      • Plasmas et graphène
    • Structuration polymère
      • Rugosification plasma polymères
      • Lithographie par auto-organisation dirigée de copolymères à blocs
      • Fonctionnalisation
      • Nano-impression
      • Nanocomposites
    • Santé
      • Biophysics of cell adhesion
    • Métrologie
      • CAFM commutation de résistance
      • Modélisation
      • Métrologie hybride
      • Imagerie ellipsométrique
    • Intégration 3D
      • Intégration 3D
  • PLATEFORMES
    • PTA SB Renatech
      • Présentation PTA
    • Moyens du LTM
      • Procédés de techno avancées
        • ICP Etching & Epitaxy Tool_AMAT
      • Moyens souples de µ-fabrication
      • Caractérisation physico-chimique
        • Moyens de microscopie électronique (FIB-SEM, STEM, EDX)
        • AFM s
        • EquipEx Impact (XPS, ellipso, Raman PL)
  • PARTENAIRES
    • Industriels
    • Labo académiques
    • Autres
  • PROJETS DE RECHERCHE
    • Projets Equipe Litho
    • Projets Equipe Matériaux
    • Projets Equipe Gravure
    • Projets Equipe Bio-santé
  • Membre du LTM
Menu

Projets Equipe Litho

----------------------------------- PROJETS NATIONAUX ACADÉMIQUES
REX7

FUI 24

Technologie de lithographie disruptive permettant d’’atteindre des dimensions critiques inférieures à 10 nm

Partenaires: 

MENTOR GRAPHICS  FRANCE
APPLIED MATERIALS FRANCE
ARKEMA FRANCE
CEA
CNRS
STILS

REGION – 2018-2021

Membranes contraintes pour photodétécteurs.


Partenaires: 
NELUMBO,  DIGITAL, CEA,
ESRF, SÜSS MICROTEC, CVA SILICONE.

NANOPEGS
  • CARNOT – 2018-2020
    NanoPendeo épitaxie de GaN sur piliers SOI déformables.
    Partenaires: 
    CEA, CHREA.
INCA
  • NANO 2022 – 2019-2022
    Condensateurs innovants.
    Partenaires: 
    MURATA, CEA,
    AIR LIQUIDE, AMPERE, VALEO,
    aPSI3D, SCHLUMBERGER.
NANO2022

Convention de recherche
Convention d’application de la convention cadre relative au programme de R&D coopératif NANO2022 – travaux années 2019-2022.

Financeur : Conseil Général de l’Isère

Partenaires: 

  • ST MICROELECTRONICS (coordonateur)
  • CEA

Vidéo NANO2022 DGE

----------------------------------- PROJETS EUROPÉENS
SCARBO
  • H2020 – 2018-2022
    Développement de spectroimageurs compact pour la détection des gaz à effet de serre.
    Partenaires: 
    PAG, ONERA, AIRBUS .
MADEIN4
  • ECSEL – 2019-2022

Copyright © AllTopGuide 2021 • Theme by OpenSumo