----------------------------------- PROJETS NATIONAUX ACADÉMIQUES
FUI 24
Technologie de lithographie disruptive permettant d’atteindre des dimensions critiques inférieures à 10 nm
Partenaires:
| MENTOR GRAPHICS FRANCE |
| APPLIED MATERIALS FRANCE |
| ARKEMA FRANCE |
| CEA |
| CNRS |
REGION – 2018-2021
Membranes contraintes pour photodétécteurs.
Partenaires:
NELUMBO, DIGITAL, CEA,
ESRF, SÜSS MICROTEC, CVA SILICONE.
- CARNOT – 2018-2020
NanoPendeo épitaxie de GaN sur piliers SOI déformables.
Partenaires:
CEA, CHREA.
- NANO 2022 – 2019-2022
Condensateurs innovants.
Partenaires:
MURATA, CEA,
AIR LIQUIDE, AMPERE, VALEO,
aPSI3D, SCHLUMBERGER.