Une filière technologique Si est développée pour réaliser un réseau de marches en Si avec un contrôle rigoureux des hauteurs et de la planéité des marches. Chacune d’elles constitue un interféromètre Fabry-Perot et l’association de des marches en réseau permet d’obtenir un spectroimageur compact. La finalité de ces composants est la détection des gaz à effet de serre depuis l’espace avec une amélioration de la résolution spatiale et une détection au ppm de gaz tels que le CO2 et le CH4.
