Une rugosification de surfaces polymères est obtenue par exposition à un plasma dans un réacteur ICP compatible avec des surfaces de 200mm de diamètre. Le contrôle des gaz à base d’Argon, Oxygène et Fluor permet d’obtenir des surfaces avec plusieurs niveaux de rugosité, qui, si l’apport en fluor est suffisant, deviennent superhydrophobes. Les différents paramètres débit de gaz/puissances/pression/durée sont optimisés de façon à élargir au maximum la fenêtre de procédé.
