La PTA, Plateforme Technologique Amont, est une salle blanche de classe 1000 sur le campus Minatec qui est issue de la mutualisation des moyens techniques et humains de l’INAC (Institut Nanosciences et Cryogénie du CEA) et du LTM (Laboratoire des Technologies de la Microélectronique du CNRS, UGA et INP). La salle blanche s’étend, au bâtiment 10.05, sur 350 m², ainsi qu’au bâtiment BCA-INP sur 350 m² (dans la salle blanche du CIME, Centre Interuniversitaire de MicroElectronique et nanotechnologies).
La PTA répond aux besoins spécifiques en termes de ressources technologiques et techniques, dédiées aux nanosciences dans le domaine des micro-nanotechnologies. Elle permet ainsi de réaliser l’intégration de micro et nano-objets ou encore de structurer les couches minces dans une gamme de dimension nanométrique grâce à diverses méthodes et outils de lithographie, de dépôt ou encore de gravure. La PTA accueille tous types de substrat, depuis l’échantillon de 5 x 5 mm² jusqu’au substrat 100 mm ainsi que tous types de matériaux.
