La PTA, Plateforme Technologique Amont, est une salle blanche de classe 1000 sur le campus Minatec qui est issue de la mutualisation des moyens techniques et humains de l’INAC (Institut Nanosciences et Cryogénie du CEA) et du LTM (Laboratoire des Technologies de la Microélectronique du CNRS, UGA et INP). La salle blanche s’étend, au bâtiment 10.05, sur 350 m², ainsi qu’au bâtiment BCA-INP sur 350 m² (dans la salle blanche du CIME, Centre Interuniversitaire de MicroElectronique et nanotechnologies).
La PTA répond aux besoins spécifiques en termes de ressources technologiques et techniques, dédiées aux nanosciences dans le domaine des micro-nanotechnologies. Elle permet ainsi de réaliser l’intégration de micro et nano-objets ou encore de structurer les couches minces dans une gamme de dimension nanométrique grâce à diverses méthodes et outils de lithographie, de dépôt ou encore de gravure. La PTA accueille tous types de substrat, depuis l’échantillon de 5 x 5 mm² jusqu’au substrat 100 mm ainsi que tous types de matériaux.
Les thématiques qui y sont développées sont nombreuses: micro et nanoélectronique, MEMS & NEMS, magnétisme et spintronique, intégration de nano-matériaux et nano-objets, photonique… La plateforme a pour vocation d’accompagner les chercheurs dans les développements technologiques qui sont nécessaires à leurs recherches, mais aussi d’accueillir les industriels pour leurs projets de R&D (tester de nouvelles technologiques, preuve de concept,..).
La flexibilité, la souplesse d’accès et d’utilisation, sont au cœur de la gestion de la PTA. Ce modèle de mutualisation des moyens entre les acteurs majeurs de la recherche amont sur Grenoble, nécessite la mise en place d’un système original de gestion et d’administration de la plateforme géré par l’INAC et le LTM. Les coûts de fonctionnement de la PTA sont assurés par les laboratoires et industriels utilisateurs.
