Le laboratoire dispose d’une salle blanche unique de micro-prototypage et fonctionnalisations de surfaces. Elle rassemble les principaux outils de fabrication de microsystèmes permettant la mise en œuvre de procédés de lithographie optique, dépôts de couches minces, gravure humide et métrologie.
Photolithographie optique
Photolithographie optique
Outre les principaux outils de fabrication de microsystèmes le laboratoire possède des locaux équipés d’appareils de fabrication additive par impression 3D tels que la photo-polymérisation, stéréo-lithographie et la lithographie sans masque.
Ces outils sont principalement dédiés à la micro-structuration de surfaces pour la micro-fluidique ou les biotechnologies appliquées aux domaines de la santé, de l’énergie et l’IoT*.