La TCAD (de l’anglais « Technology CAD ») est une branche de la CAO électronique utilisant des outils informatiques permettant de modéliser et de simuler la fabrication (on parlera de « TCAD process ») ou le fonctionnement (on parlera de « TCAD device ») de dispositifs micro- et nano-électroniques en amont de leur réalisation concrète. Dans le cadre d’un partenariat avec le CEA-LETI, le LTM fait appel à des outils de TCAD device développés par la société américaine Silvaco. Ces outils de simulation informatique permettent notamment de comprendre et d’appréhender les mécanismes physiques inhérents au fonctionnement de transistors à effet tunnel (« Tun-FETs ») avant leur étude en salle blanche. Pour être efficaces, ils se doivent de donner des résultats très fiables et précis, exploitables facilement, tout en permettant de simuler un panel très vaste de phénomènes physiques, avec des temps de calcul raisonnables.
La société Silvaco, reconnue pour la qualité de ses produits, est le deuxième fournisseur de logiciel de TCAD au monde. Les principaux outils Silvaco utilisés au LTM sont les logiciels Atlas, Deckbuild, et Tonyplot. Atlas est un simulateur de dispositifs microélectroniques 2D et 3D qui effectue des analyses DC, AC, et transitoires pour des composants à base de silicium, de matériaux binaires, ternaires ou quaternaires. Il permet la caractérisation et l’optimisation de dispositifs microélectroniques s’appuyant sur une large gamme de technologies. DeckBuild est l’interface graphique de tous les simulateurs Silvaco. Il permet aux utilisateurs de créer, d’éditer et d’exécuter des codes d’entrée de simulation. TonyPlot est un outil conçu pour visualiser les structures 1D et 2D produites par les simulateurs Silvaco.
