La miniaturisation ultime des composants nécessite le développement de métrologies qui allient précision et justesse à un niveau non atteignable par une seule technique. La métrologie hybride consiste à combiner les résultats issus de plusieurs techniques pour bénéficier des atouts de chacune et en améliorer les performances globales. Les études menées portent sur l’hybridation de MEB, AFM, scattérométrie, et diffusion de rayons x. Cette approche est en particulier appliquée au contrôle de la rugosité de motifs.
Partenaires : CEA-LETI
