Le projet intègre sur une même plateforme différents modules de caractérisation physico chimiques et de modules de procédés, tous connectés virtuellement via des systèmes de transferts sous vide spécifiques (concept de quasi-insitu), et compatibles petits échantillons jusqu’au 300mm.
La plateforme combine ainsi d’une part des outils de caractérisations construits spécifiquement pour ce projet et affichant des niveaux de performances à l’état de l’art de chaque technique, et d’autre part une compatibilité avec les équipements de procédés de l’industrie microélectronique.
Associé à des capacités de chargement très polyvalentes, l’intérêt d’une telle plateforme autour de ce concept est donc double :
· Pour tous les procédés traitant des matériaux sensibles au passage à l’atmosphère, le maintien de la chaine de vide entre les différentes chambres de process et de caractérisation permet la compréhension fine et le développement des procédés industriels.
· Le caractère avancé et amont des techniques de caractérisation implémentées sur la plateforme permet des études poussées dans le cadre de collaborations avec nos partenaires académiques.
Les modules de la plateforme de caractérisation proprement dite comprennent 3 chambres de caractérisation sous vide, compatibles 300 mm et petits échantillons, équipés chacune de leurs systèmes de transferts quasi insitu.
· 2 chambres d’analyse XPS angulaire parallèle pARXPS (sans tilt de l’échantillon), sous UHV.
·Une chambre d’Ellipsométrie spectroscopique large bande : IR 12µm (0,1 eV) à UV 145 nm (8,55 eV), équipée d’un polarimètre IR, et d’un chuck chauffant (450°).
· Une chambre combinée Raman – Photoluminescence (3 lasers : 355nm / 532nm / 1064 nm).
Par ailleurs, 8 équipements de procédés en salle blanche sont à ce jour connectés à la plateforme via des interfaces de transfert compatibles.
La plateforme est en constante amélioration, et le rayonnement des activités scientifiques sont en croissance, tant sur les thématiques académiques que sur des sujets de recherche plus industriels.
